返回第670章 第二步:覆海!破晓 A220 EUV光刻机  今月曾经照古河首页

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!」

汪象朝说道。

陈延森看了一眼时间,此刻是晚上8点37分,距离真空泵启动已经过去了半个多小时。

他俯下身子,对着麦克风,向实验室的工作人员叮嘱道:「曝光开始,单次曝光时间设置为05秒,记录所有参数。」

核心腔室的观察窗内,淡紫色的微光骤然亮了一下,旋即恢复柔和。

光路末端的探测器疯狂刷新着数据,屏幕上跳出一行行代表「曝光能量密度」、「线宽均匀度」、「图形套刻精度」的数值。

每一个数字都在朝着合格的方向靠近!

05秒的时间,却像一个世纪那幺漫长。

当曝光完成的提示音在控制室内响起时,汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出,送往检测室。

一行人都跟了过去,连脚步都变得急促起来。

在精密的euv掩模版检测仪下,当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时,现场彻底沸腾了。

线条细如蛛丝,却没有一丝断裂或模糊,每一个电晶体的轮廓都精准得如同复刻。

光刻机的运行原理就像印刷机,又像照相机,只不过它所运用的『画笔』和『画板』都更为精细。

「成了!真的成了!」

汪象朝喃喃低语,双手在发抖,嘴里发出『呵呵呵』的笑声,压抑中带着亢奋。

不一会儿,笑声变得呜咽。

他今年五十九岁,在euv光源领域已经摸爬滚打了大半辈子。

曾经的他,眼看着自己的人生快要走到尽头,连euv光源的技术突破也渐渐看不到希望,心里满是无力。

可谁曾想,星源科技会在这时横空出世,不仅打破了僵局,更给华国自主研发光刻机带来了全新的希望。

如今造出了euv光刻机和烛龙 g1051五轴联动数控工具机,往后华国晶片产业和高端制造业,总算不用再看别人脸色了!

汪象朝抹了把脸,想把激动的泪水憋回去,可嘴角却控制不住地往上扬,最后索性也不掩饰,任由泪水顺着脸颊往下淌。

这眼泪里,有大半辈子的遗憾,更有苦尽甘来的畅快。

林南见状,拍了拍他的肩膀,温言劝慰道:「汪工,咱们没白等,也没白干!」

站在人群里的梁劲松一脸唏嘘,他暗暗打量着陈延森,默默给出评价:妖怪级别的天才!

要知道,世界上大部分的技术突破,都需要一代人、甚至是几代人的积累,可陈延森硬是在二线的技术栈上,拿出了行业顶尖的方案。

220瓦、解析度小于12纳米、033数值孔径的光学设计,每平方厘米可容纳约800亿个电晶体,绝对可以支持10纳米和7纳米节点的euv量产需求。

陈延森微微一笑,这台euv光刻机便是他的新筹码。

毕竟森联资本涉足的行业越广,树敌就越多,若是拿不出像样的压箱底本事,又如何能获得上面的全力支持?

另外,一台光刻机的售价高达5000万到9000万美币,能够创造巨大的经济利益。

而且陈延森还能借此培养一批生产、安装、养护和维修的工作人员,进而获得更多的

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