甚至都达到了国际领先水平，超过了竞争对手。

不仅仅自己使用，还提供给大量国外客户使用，四星甚至都有采购而且这种先进后道光刻机，海湾科技卖的很贵的，价格比国外同类型竞品还高。

然后蚀刻机做的也比较好，基本上能够满足10-22纳米工艺的须求，其中的先进型号已经能够满足10工艺，也算是超前发展了，同样也供应国内外客户。

其他的多种内核设备，基本也能满足十四纳米工艺或二十八纳米工艺的须求。

”我们的目标，是争取在后年，把这十多种内核设备的技术指标，全部提升到满足等效10纳米工艺的程度。”

”然后在这个基础上，继续向7纳米工艺乃至未来的5纳米工艺所需要的技术指标推进！”

“对此，我们的信心还是很大的！”

徐申学心中则是暗道：“二十个s级科研名额，百十多个a级科研名额都投在了仙女山控股体系下，如果你们还没信心，我就要怀疑你们是不是有真材实料了。”

仙女山控股体系下的各企业，一向来是徐申学的科研名额的投入大户，每个月新增加的成就点所购买的s级以及a级别的科研名额，基本都是给仙女山控股体系这边用了。

智云集团那边除了智云微电子外，其他项目组，子公司都已经好久没有得到过a级以上的科研名额新增了，都是用原来的一些科研名额顶着，不过原来分配过去的高级别科研名额也不少，所以也够用了。

看完了诸多这些现成的内核设备，徐申学又了解了一番euv光刻机的研发进度。

王道林介绍道：“目前我们正在汇同各大子系统供应链企业，对euv的多种关键技术进行集中攻关！”

“主要是euv光源系统，高精度的弧形离轴反射镜构成的光学系统，还有超高精度的真空双工件台。”

“除了光刻机本身的技术外，我们也在配合仙女山控股体系下的其他兄弟公司，研发euv掩膜版，沉积工艺等等。”

“而我们负责主导的euv光刻机研发上，目前光源系统的进度是比较快速的，我们之前获取了完整了euv所使用极紫外光光源的技术资料，而经过我们数年的反复尝试和试验，已经算是制造出来了极紫外光的光源！”

“但是距离实用性还有一定的差距，我们的激光部分问题不大，但是在激光轰击锡滴的频率还是不够，无法达到技术资料上所需要的每秒五万次。”

“我们已经针对这个技术难题牵头，进行了技术攻关，目前进展还算顺利，也许明年年中我们应该就能够把这个光源给搞出来！”

“还有则是光源的反射镜，因为极紫外光的特殊性，很多材料无法反射这种光线，而是会被吸收，因此我们还需要一种全新材料所制造的反射镜来反射这种极紫外光！”

“这部分工作主要由南方光学所承担，据我所知，他们已经尝试研发出来一种镜面材料，效果很不错，如今的难题是卡在了及镜面加工上，euv光刻机所需要的镜面精度，超过了duv光刻机镜面精度一个量级，他们正在和国内的几家科研所进行合作，准备搞这个镜面加工。”

“双工台的话，这个难度倒是稍微低一些，我们如今

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